Liant CV59

RUBRIQUE 2: Identification des dangers

1272/2008 Classification de la substance ou du mélange

2.3 Autres dangers

L’évaporation des solvants durant les étapes de sérigraphie et de séchage

2.1. Classification de la substance ou du mélange

Classification en accord avec la réglementation (EC) No 1272/2008 Cette substance n'est pas classée comme dangereuse selon la législation de l'Union européenne. Agmet Ltd commerçant en tant que ESL Europe Domiciliation: 8 Commercial Road, Reading, Berkshire. RG2 0QZ. Royaume-Uni, No. 1494424 Nom du produit: Liant CV59 Fiche de Données de Sécurité N° 375 / Page 2 de 7 2.2 Contenue d’étiquette Etiquetage en accord avec la réglementation (CE) No 1272/2008 N'est pas une substance dangereuse selon le SGH. 2.3 Autres dangers L’évaporation des solvants durant les étapes de sérigraphie et de séchage SECTION 3: COMPOSITION/INFORMATIONS SUR LES COMPOSANTS Nature chimique: Résine époxy dispersée dans un solvant organique 3.1 Substance Sans objet 3.2 Mélange Réglementation (CE) No 1272/2008 CAS NOM CHIMIQUE % CLASSIFICATION N/D Résine époxy 15 - 40 N/D 124-17-4 Acétate de Butyle diglycol 60 - 85 N/D SECTION 4: PREMIERS SECOURS 4.1 Description des premiers secours INHALATION Déplacer la personne à l’air frais. INGESTION Rincer abondamment la bouche avec de l'eau. Solliciter des soins médicaux. CONTACT AVEC LA PEAU Laver les régions affectées avec de l’eau. Retirer les vêtements et chaussures contaminés. CONTACT AVEC LES YEUX Laver les régions affectées avec de l'eau. Oter les lentilles de contact. Solliciter des soins médicaux. 4.2 Principaux symptômes et effets, aigus et différés INHALATION Irritation des voies respiratoires. INGESTION Problèmes gastriques tels que vomissements, diarrhées ou douleurs abdominales. CONTACT AVEC LA PEAU Irritation de la peau. CONTACT AVEC LES YEUX Irritation des yeux. Nom du produit: Liant CV59 Fiche de Données de Sécurité N° 375 / Page 3 de 7 4.3 Indication des éventuels soins médicaux immédiats et traitements particuliers nécessaires Aucun SECTION 5: MESURES DE LUTTE CONTRE L’INCENDIE 5.1 Moyens d’extinction Dioxyde de carbone (CO2), mousse, poudre sèche. 5.2 Dangers particuliers résultant de la substance ou du mélange Aucun 5.3 Conseils aux pompiers Aucun SECTION 6: MESURES À PRENDRE EN CAS DE DISPERSION ACCIDENTELLE 6.1 Précautions individuelles, équipement de protection et procédures d’urgence S’équiper de gants et vêtements de protection. Eviter de respirer les vapeurs. . 6.2 Précautions pour la protection de l’environnement Eviter la pénétration dans les égouts et les eaux potables. 6.3 Méthodes et matériel de confinement et de nettoyage Nettoyer dès que possible tout épandage, en le récoltant au moyen d'un produit absorbant. Eliminer le produit conformément aux réglementations locales. Utiliser des conteneurs de rejet adéquats. 6.4 Référence à d’autres sections Section 13 - Considérations relatives à l’élimination SECTION 7: MANIPULATION ET STOCKAGE 7.1 Précautions à prendre pour une manipulation sans danger Utiliser dans un environnement bien ventilé et éviter de respirer les vapeurs. S’équiper de vêtements de protection et de gants en caoutchouc et éviter tout contact avec la peau ou les yeux. Conserver à l’abri de toute source de chaleur. Ne pas manger, boire, fumer ou se maquiller durant l’utilisation de ce produit. Se laver les mains après utilisation. Les vêtements de travail doivent être lavés et rangés séparément des vêtements personnels. Ne pas respirer les vapeurs lors du séchage / cuisson. Nom du produit: Liant CV59 Fiche de Données de Sécurité N° 375 / Page 4 de 7 7.2 Conditions d’un stockage sûr, y compris d’éventuelles incompatibilités Conserver dans un récipient hermétiquement fermé. Garder au sec. Entreposer à la température ambiante 7.3 Utilisation(s) finale(s) particulière(s) Uniquement pour celle détaillée Section 1.2 SECTION 8: CONTRÔLES DE L’EXPOSITION/PROTECTION INDIVIDUELLE 8.1 Paramètres de contrôle Aucun 8.2 Contrôles de l’exposition A manipuler conformément aux normes d'hygiène industrielle et aux consignes de sécurité. Le produit ne doit être utilisé que dans des endroits bien ventilés avec aspiration vers l’extérieur. Toujours se laver les mains soigneusement après utilisation. Protection des yeux et du visage: Lunettes anti-éclaboussures ou des lunettes de sécurité conformes EN 166 Protection de la peau: Porter des gants de protection pour éviter tout contact de la peau. Protection du corps : Se vêtir de vêtements de travail afin d’éviter toute souillure des effets personnels. Ces vêtements de travail doivent être lavés et rangés séparément des vêtements personnels. Protection respiratoire: En cas de ventilation insuffisante, porter un appareil respiratoire approprié. SECTION 9: PROPRIÉTÉS PHYSIQUES ET CHIMIQUES 9.1 Informations sur les propriétés physiques et chimiques essentielles a) Aspect Uniforme, pâte visqueuse b) Odeur Très douce c) Seuil olfactif donnée non disponible d) pH donnée non disponible e) Point de fusion/point de congélation donnée non disponible f) Point initial d’ébullition et intervalle d’ébullition 246 °C (du solvant pur contenu dans la pâte.) g) Point d’éclair 115 °C - (Cleveland en vase ouvert - du solvant pur contenu dans la pâte) h) Taux d’évaporation donnée non disponible donnée non disponible Nom du produit: Liant CV59 Fiche de Données de Sécurité N° 375 / Page 5 de 7 i) Inflammabilité (solide, gaz) donnée non disponible j) Limites supérieure/inférieure d’inflammabilité ou d’explosivité donnée non disponible k) Pression de vapeur donnée non disponible l) Densité de vapeur donnée non disponible m) Densité relative donnée non disponible n) Hydrosolubilité donnée non disponible o) Coefficient de partage: n-octanol/eau donnée non disponible p) Température d’autoinflammabilité donnée non disponible q) Température de décomposition donnée non disponible r) Viscosité donnée non disponible s) Propriétés explosives donnée non disponible t) Propriétés comburantes donnée non disponible 9.2 Autres informations concernant la sécurité Aucun SECTION 10: STABILITÉ ET RÉACTIVITÉ 10.1 Réactivité Présente peu ou pas de réactivité avec les acides, bases ou agents oxydants. 10.2 Stabilité chimique Stable dans les conditions de stockage recommandées. 10.3 Possibilité de réactions dangereuses Donnée non disponible 10.4 Conditions à éviter Donnée non disponible 10.5 Matières incompatibles Donnée non disponible 10.6 Produits de décomposition dangereux Donnée non disponible SECTION 11: INFORMATIONS TOXICOLOGIQUES 11.1 Informations sur les effets toxicologiques Toxicité spécifique pour certains organes cibles: exposition unique donnée non disponible exposition répétée donnée non disponible Nom du produit: Liant CV59 Fiche de Données de Sécurité N° 375 / Page 6 de 7 Danger par aspiration donnée non disponible SECTION 12: INFORMATIONS ÉCOLOGIQUES 12.1 Toxicité Donnée non disponible 12.2 Persistance et dégradabilité Donnée non disponible 12.3 Potentiel de bioaccumulation Donnée non disponible 12.4 Mobilité dans le sol Donnée non disponible 12.5 Résultats des évaluations PBT et VPVB Donnée non disponible 12.6 Autres effets néfastes Donnée non disponible SECTION 13: CONSIDÉRATIONS RELATIVES À L’ÉLIMINATION 13.1 Méthodes de traitement des déchets Produit / Emballages Eliminer ce produit et son récipient dans un centre de collecte des déchets dangereux ou spéciaux. Détruire conformément aux règlements de sécurité locaux/nationaux en vigueur. Ce produit chimique peut être brulé dans un incinérateur chimique équipé d’un système de postcombustion et d’épuration. Eliminer les emballages en tant que produit non utilisé. SECTION 14: INFORMATIONS RELATIVES AU TRANSPORT 14.1 Numéro ONU ADR/RID, IMDG & IATA: Classé non dangereux au sens des réglementations de transport. 14.2 Nom d’expédition des Nations unies ADR/RID: Marchandise non dangereuse IMDG: Marchandise non dangereuse IATA: Marchandise non dangereuse 14.3 Classe(s) de danger pour le transport ADR/RID, IMDG & IATA: Classé non dangereux au sens des réglementations de transport. 14.4 Groupe d’emballage ADR/RID, IMDG & IATA: Classé non dangereux au sens des réglementations de transport maritime et aérien. Nom du produit: Liant CV59 Fiche de Données de Sécurité N° 375 / Page 7 de 7 14.5 Dangers pour l’environnement ADR/RID: non IMDG Marine pollutant: non IATA: non 14.6 Précautions particulières à prendre par l’utilisateur Donnée non disponible SECTION 15: INFORMATIONS RÉGLEMENTAIRES Cette fiche de données de sécurité est conforme aux exigences du Règlement (CE) n ° 1907/2006. 15.1 Réglementations/législation particulières à la substance ou au mélange en matière de sécurité, de santé et d’environnement Donnée non disponible 15.2 Évaluation de la sécurité chimique Donnée non disponible SECTION 16: AUTRES INFORMATIONS Formation Les utilisateurs doivent être formés à la manipulation du produit et de tous les produits ou équipements associés. Information supplémentaire La fiche technique de ce produit est disponible. Les informations présentes dans ce document sont extraites des ouvrages REACH et de l’expérience acquise par ESL Europe sur le produit. 153 Annexe B Annexes Chapitre III Acquisition longue durée 572,55 1 100 f0 fit Q 572,5 f0 AG f0 AB 1 080 572,45 f0 B=0 1 060 572,4 572,35 (kHz) 1 040 572,3 Fréquence Q 1 020 572,25 572,2 1 000 572,15 980 572,1 572,05 960 0 12 24 36 48 60 72 84 96 108 120 132 144 156 Temps (h) Figure B.1 Évolution de la fréquence de résonance f0 et du facteur de qualité Q au cours du temps. La fréquence de résonance présente une dérive, importante au début puis relativement stabilisée à partir de 12 heures. Les cycles jour/nuits sont également visibles, probablement à travers les variations de températures induites. Il est clair que f0 AG et f0 AB mesurent une fréquence qui dière de celle 154 trouvée avec f0 fit et f0 B=0, ceci probablement à cause de l'importante dérive initiale, Q ne variant que peu. Le bruit sur f0 fit sur l'ensemble de la durée est de 2,8 Hz. Analyseur de réseau en mode gain-phase serie-through L'analyseur de réseau Agilent E5061B est utilisé en mode gain-phase serie-through car il permet la mesure d'impédance élevées et couvre toute la gamme de fréquence étudiée [181] (de 5 Hz à 30 MHz). La Figure B.2 illustre de fonctionnement de ce mode. Les broches R et LF out sont connectées, la mesure est eectuée entre les broches T et R. Le Tableau B.1 liste les principaux paramètres de mesure utilisés pour les mesures eectuées dans ces travaux. Les noms de colonnes correspondent aux noms utilisés dans l'analyseur. Averaging correspond au nombre de balayages sur lequel est eectué la moyenne du signal, Smooth à une moyenne mobile sur X% de la fenêtre de fréquence, Sweeping time au temps pris pour un balayage de la plage de fréquence, et Power à la puissance en dBm injectée au niveau de R. La plage de fréquence change pour chaque dispositif, mais correspond, pour les mesures sur G et B à une fenêtre de 3 kHz à 10 kHz centrée sur la fréquence de résonance. Table B.1 Paramètres utilisés dans l'analyseur Agilent É5061B pour la mesure de diérents para- mètres. Measure Averaging Data points Smooth Sweeping time (s) Power (dBm) G (T/R) OFF 1601 OFF 16 -45 B (T/R) OFF 1601 OFF 16 -45 Cp 16 1601 5% 16 -30 Figure B.2 analyseur de réseau Agilent E5061B utilisé en mode gain-phase serie-through. 155 Interfaces Labview Figure B.3 Interface Labview développé pour la mesure continue de f0 avec un analyseur de ré- seau. (a) Bloc température/humidité, (b) Indicateur température/humidité, (c) Bloc Paramétrage de l'analyseur de réseau, (d) Bloc contrôle du débitmètre. Figure B.4 Interface Labview développé pour la mesure continue de f0 avec la carte électronique as- sociée à un oscilloscope. (a) Bloc température/humidité, (b) Indicateur température/humidité, (c) Bloc contrôle du débitmètre, (d) Indicateur de fréquence de résonance, (e) Bloc de contrôle de l'oscilloscope. Dessins techniques : cellules d'acquisition fermées 156 millimètres. en sont dimensions Les III.16. Figure 3.3.2.b, section décrite fermée cellule la de IMS. principale partie Laboratoire Destor, la de Plan Serge B.5 par Figure Réalisée 157 millimètres. en sont dimensions Les III.18. Figure 3.3.2.b, section décrite fermée cellule la de IMS. principale partie Laboratoire Destor, la de Plan Serge B.6 par Figure Réalisée 158 Schéma de la carte électronique Ci-après le schéma et le dessin du PCB de la carte électronique fabriquée et décrite section 3.3.3. 159 5 4 3 2 1 D VCC PT1 PT2 D 1 S13-503 1 S13-503 R4 2K 1 C4 XTAL1 XTAL2 100pF R5 2K VCC C VCC C1 R6 220R C 10nF U1 1 D1 U2 C5 J2 2 R1 12K 7 5V_IN 1 5 2u2F IN OUT 3 8 J1 ES1A 3 4 C6 /SHDN ADJ 1 2 2u2F 2 4 5 6 LT1713CMS8 GND R3 10K ADP7118AUJZ-R7 R7 10K R114665000W 1725656 B R2 2K B C3 100nF FIX1 A FIX2 A FIX3 Title FIX4 CAPEUR DE BUEE V1 Size Document Number Rev A4 EBA4967 V1 0 Date: Tuesday, November 20, 2018 5 Sheet 1 of 1 4 3 2 1 ART FILM - TOP PT2 PT1 R6 R4 R2 C4 C3 R5 U1 C1 R3 C5 R1 R7 U2 C6 D1 SIDE TOP CARTE uPOUTREV1 EBA4985V1 19/11/2018 ART FILM - TOP ART FILM - BOTTOM J2 J1 ENTREE 19/11/2018 EBA4985V1 uPOUTREV1 CARTE BOT SIDE ART FILM - BOTTOM Annexe C Annexes Chapitre IV Second test sur banc à agitation magnétique 23 710 780 3 000 5 2 500 710 760 4 22,5 (◦C) ∆f0 25 Hz ≈ 2 000 (%) 710 740 3 Température 1 500 Humidité 22 (Hz) (μg/m3) f0 710 720 1 000 PM 2 21,5 500 710 700 1 0 21 710 680 0 500 1 000 1 500 2 000 Temps (s) Figure C.1 Test avec le banc de test à agitation magnétique. Les particules sont mises en mouvement avec un mélangeur magnétique mis en marche pendant 4 minutes. Les concentrations en PM sont à 1,6 multiplier par 0,1 = 16 en raison de la dilution avant l'entrée dans l'analyseur de particules. ( f0, PM1, PM2.5, PM4, PM10, T◦, HR.) 163 Figure C.2 Photos de la micropoutre mm3 utilisée dans l'expérience utilisant l'agitation 2×1×0,1 magnétique décrite section 4.2.3, Figure IV.18. Des particules blanches sont visibles (èches rouges) sur la photo de droite. 164 Bibliographie [1] Rhodes Michael L., Krafthefer Brian C., Ma Hongbin, and Kittelson David B. Particulate matter sensor , 12 2003. US Patent No. US20050145023A1, Honeywell International Inc, University of Minnesota. [2] Mizoguchi H. and T. Fujiwara. Exhaust particulate matter measuring apparatus, 5 2006. US Patent No. US20090094963A1, Toyota Motor Corp. [3] Aida Makoto and Yokoyama Hitoshi. Particulate matter emission detection device of internal combustion engine, 2 2007. JP Patent No. JP2008190502A, Nissan Motor Co Ltd. [4] D. C. Weber. Method and System for Resistive-Type Particulate Matter Sensors, 11 2016. US Patent No. 20160320285A1, Ford Global Technologies. [5] G Eranna, B C Joshi, D P Runthala, and Gupta. Oxide materials for development of integrated gas sensors a comprehensive review. Critical Reviews in Solid State and Materials Sciences, pages 111188, 2004. [6] M. Maute, S. Raible, F.E. Prins, D.P. Kern, H. Ulmer, U. Weimar, and W. Göpel. Detection of volatile organic compounds (VOCs) with polymer-coated cantilevers. Sensors and Actuators B : Chemical, 58(1-3) :505511, 1999. [7] J. Lee, J. Jang, D. Akin, C. A. Savran, and R. Bashir. Real-time detection of airborne viruses on a mass-sensitive device. Applied Physics Letters, 93(1) :811, 2008. [8] D. R. P. Morris, J. Fatisson, A. L. J. Olsson, N. Tufenkji, and A. R. Ferro. Real-time monitoring of airborne cat allergen using a QCM-based immunosensor. Sensors and Actuators, B : Chemical, 190 :851857, 2014. [9] M. A. Urbiztondo, A. Peralta, I. Pellejero, J. Sesé, M. P. Pina, I. Dufour, and J. Santamaría. Detection of organic vapours with Si cantilevers coated with inorganic (zeolites) or organic (po- lymer) layers. Sensors and Actuators, B : Chemical, 171-172 :822831, 2012. [10] J. Amírola, A. Rodríguez, L. Castañer, J. P. Santos, J. Gutiérrez, and M. C. Horrillo. Micro- machined silicon microcantilevers for gas sensing applications with capacitive read-out. Sensors and Actuators, B : Chemical, 111-112(SUPPL.) :247253, 2005. [11] R. Lakhmi, H. Debéda, I. Dufour, C. Lucat, and M. Maglione. Study of screen-printed PZT canti- levers both self-actuated and self-read-out. International Journal of Applied Ceramic Technology, 11(2) :311320, 2014. 165 [12] W. Pang, H. Zhao, E. S. Kim, H. Zhang, H. Yu, and X. Hu. Piezoelectric microelectromechanical resonant sensors for chemical and biological detection. Lab on a Chip, 12(1) :29, 2012. [13] P. Clément, E. Del Castillo Perez, O. Gonzalez, R. Calavia, C. Lucat, E. Llobet, and H. Debéda. Gas discrimination using screen-printed piezoelectric cantilevers coated with carbon nanotubes. Sensors and Actuators, B : Chemical, 237 :10561065, 2016. [14] Reza Abdolvand, Behraad Bahreyni, Joshua Lee, and Frederic Nabki. Micromachined Resona- tors : A Review. Micromachines, 7(9) :160, 2016. [15] F. M. Battiston, J. P. Ramseyer, H. P. Lang, M. K. Baller, Ch Gerber, J. K. Gimzewski, E. Meyer, and H. J. Güntherodt. A chemical sensor based on a microfabricated cantilever array with simultaneous resonance-frequency and bending readout. Sensors and Actuators, B : Chemical, 77(1-2) :122131, 2001. [16] Byung S. Joo, Jeung S. Huh, and Duk Dong Lee. Fabrication of polymer SAW sensor array to classify chemical warfare agents. Sensors and Actuators, B : Chemical, 121(1) :4753, 2007. [17] V. Ferrari, D. Marioli, A. Taroni, and E. Ranucci. Multisensor array of mass microbalances for chemical detection based on resonant piezo-layers of screen-printed PZT. Sensors and Actuators, B : Chemical, 68(1) :8187, 2000. [18] Cli I. Davidson, Robert F. Phalen, and Paul A. Solomon. Airborne particulate matter and human health : A review. Aerosol Science and Technology, 39(8) :737749, 2005. [19] Michelle L Bell and Tracey Holloway. Global impacts of particulate matter air pollution. Envi- ronmental Research Letters, 2(4) :045026, 2007. [20] World Health Organisation (WHO). Who air quality guideline values : Particu- late matters (pm). https://www.who.int/news-room/fact-sheets/detail/ambient-(outdoor) -air-quality-and-health, 2018. [21] World Bank. Understanding air pollution and the way it is measured. http://www.worldbank. org/en/news/feature/2015/07/14/understanding-air-pollution-and-the-way-it-is-measured. Consulté le : 27/01/2019. [22] P.H. McMurry. Chapter 17 a review of atmospheric aerosol measurements. Developments in Environmental Science, 1(C) :443517, 2002. [23] P. a Solomon and C. Sioutas. Continuous and semicontinuous monitoring techniques for parti- culate matter mass and chemical components : a synthesis of ndings from EPA's Particulate Matter Supersites Program and related studies. Journal of the Air & Waste Management Asso- ciation (1995), 58(2) :164195, 2008. [24] European Environment Agency. Emissions of primary particles. https://www.eea.europa.eu/ data-and-maps/indicators/emissions-of-primary-particles-and-5/. Consulté le : 14/12/2018. [25] European Environment Agency. Main anthropogenic air pollutant emissions. https://www.eea. europa.eu/data-and-maps/indicators/main-anthropogenic-air-pollutant-emissions/. Consulté le : 13/12/2018. 166 [26] Copernicus Atmosphere Monitoring Service. Particulate matter forecasts. https://atmosphere. copernicus.eu/charts/cams/particulate-matter-forecasts. Consulté le : 27/01/2019. [27] L A Jimoda. Eects of Particulate Matter On Human Health, The Ecosystem, Climate and Materials : A Review. Facta Universitatis, 9(1) :2744, 2012. [28] Sung Yul Chu and Sung Eun Jo. A Feasibility Demonstration of a Sensing Control Unit for Measurement of Large Capacitance for Particulate Matter Sensor. SAE International, 2018. [29] Takeyuki Kamimoto. A review of soot sensors considered for on-board diagnostics application. International Journal of Engine Research, 2017. [30] Robert Bosch GmbH. Particulate matter sensor. https://www.bosch-mobility-solutions.com/ en/products-and-services/passenger-cars-and-light-commercial-vehicles/powertrain-systems/ after-treatment-of-exhaust-gases/particulate-matter-sensor/, 2018. [31] S Binnig, S Fuchs, C A Robles Collantes, and H Volpp. Sensors and Actuators B : Chemical Exhaust gas condensate formation , characterization and inuence on platinum measuring electrodes in diesel vehicles. Sensors & Actuators : B. Chemical, 242(x) :12511258, 2017. [32] Gerard W Malaczynski and Gregory Roth. Real-time Sensing of Particulate Matter in a Vehicle Exhaust System. SAE Int. J. Passeng. Cars Electron. Electr. Syst., 10 :216230, 2018. [33] G Hagen, M Feulner, R Werner, M Schubert, A Müller, and G Rieÿ. Sensors and Actuators B : Chemical Capacitive soot sensor for diesel exhausts. Sensors & Actuators : B. Chemical, 236 :10201027, 2016. [34] D. Grondin, A. Westermann, P. Breuil, J.P. Viricelle, and P. Vernoux. Inuence of key parameters on the response of a resistive soot sensor. Sensors and Actuators B : Chemical, 236 :10361043, 2016. [35] M. Carminati, L. Pedalà, E. Bianchi, F. Nason, G. Dubini, L. Cortelezzi, G. Ferrari, and M. Sam- pietro. Capacitive detection of micrometric airborne particulate matter for solid-state personal air quality monitors. Sensors and Actuators, A : Physical, 219 :8087, 2014. [36] Yoshinobu Yoshihara, Takaya Suzuki, Keita Tominaga, Keiichiro Aoki, and Hiroki Nishijima. Development of an On-Board PM Sensor for the OBD System Based on an Electrochemical Polarization. Society of Automotive Engineers of Japan, 5(1) :337342, 2012. [37] Y. B. Shen, T. Harada, S. Teranishi, and T. Hibino. A solid-state particulate matter sensor based on electrochemical oxidation of carbon by active oxygen. Sensors and Actuators, B : Chemical, 162(1) :159165, 2012. [38] Liangyun Yu, Qin Xu, Dangqin Jin, Qi Zhang, Airong Mao, Yun Shu, Bingyi Yan, and Xiaoya Hu. Highly sensitive electrochemical determination of sulfate in PM 2 . 5 based on the formation of heteropoly blue at poly- L -lysine-functionalized graphene modied glassy carbon electrode in the presence of cetyltrimethylammonium bromide. Chemical Engineering Journal, 294 :122131, 2016. 167 [39] Jaruwan Mettakoonpitak, John Mehay, John Volckens, and Charles S Henry. AgNP / Bi / Naon-modied Disposable Electrodes for Sensitive Zn ( II ), Cd ( II ), and Pb ( II ) Detection in Aerosol. Eletroanalysis, 29(3) :880889, 2017. [40] L. Wald and J. M. Baleynaud. Observing air quality over the city of nantes by means of landsat thermal infrared data. International Journal of Remote Sensing, 20(5) :947959, 1999. [41] J. Amanollahi, C. Tzanis, A. M. Abdullah, M. F. Ramli, and S. Pirasteh. Development of the models to estimate particulate matter from thermal infrared band of Landsat Enhanced Thematic Mapper. International Journal of Environmental Science and Technology, 10(6) :12451254, 2013. [42] Changqing Lin, Ying Li, Zibing Yuan, Alexis K.H. Lau, Chengcai Li, and Jimmy C.H. Fung. Using satellite remote sensing data to estimate the high-resolution distribution of ground-level PM2.5. Remote Sensing of Environment, 156 :117128, 2015. [43] Pawan Gupta, Sundar A. Christopher, Jun Wang, Robert Gehrig, Yc Lee, and Naresh Kumar. Satellite remote sensing of particulate matter and air quality assessment over global cities. At- mospheric Environment, 40(30) :58805892, 2006. [44] Tan Chen, Shulin Deng, and Manchun Li. Spatial Patterns of Satellite-Retrieved PM2.5 and Long-Term Exposure Assessment of China from 1998 to 2016. International Journal of Environ- mental Research and Public Health, 15(12) :2785, 2018. [45] Hao Xu, Matthew J. Bechle, Meng Wang, Adam A. Szpiro, Sverre Vedal, Yuqi Bai, and Julian D. Marshall. National PM2.5 and NO2 exposure models for China based on land use regression, satellite measurements, and universal kriging. Science of the Total Environment, 655(2) :423433, 2019. [46] Luke D. Knibbs, Aaron Van Donkelaar, Randall V. Martin, Matthew J. Bechle, Michael Brauer, David D. Cohen, Christine T. Cowie, Mila Dirgawati, Yuming Guo, Ivan C. Hanigan, Fay H. Johnston, Guy B. Marks, Julian D. Marshall, Gavin Pereira, Bin Jalaludin, Jane S. Hey- worth, Georey G. Morgan, and Adrian G. Barnett. Satellite-Based Land-Use Regression for Continental-Scale Long-Term Ambient PM2.5 Exposure Assessment in Australia. Environmental Science and Technology, 52(21) :1244512455, 2018. [47] Yongquan Zhao, Bo Huang, Andrea Marinoni, and Paolo Gamba. High spatiotemporal resolution PM2.5 concentration estimation with satellite and ground observations : A case study in New York City. 2018 IEEE International Conference on Environmental Engineering (EE), pages 15, 2018. [48] TSI Incorporated. Dust monitors. https://www.tsi.com/products/aerosol-and-dust-monitors/ dust-monitors/, 2018. [49] Palas GmbH. Fine dust monitoring devices. https://www.palas.de/en/product/ nedustmonitors, 2018. [50] Sensirion AG Switzerland. Environmental sensors. https://www.sensirion.com/en/ environmental-sensors/, 2018. 168 [51] Honeywell. https://sensing.honeywell.com/sensors/particle-sensors/hpm-series, 2018. [52] Adafruit. "pm25 air quality sensor". https://learn.adafruit.com/pm25-air-quality-sensor/ overview, 2018. [53] Robert Schrobenhauser, Rainer Strzoda, Maximilian Fleischer, Alexander Hartmann, and Markus-Christian Amann. Detection of the mass of ne particulate matter using light scatte- ring and inertial ltering in a miniaturized sensor setup. Measurement Science and Technology, 25(3) :035103, 2014. [54] Di Liu, Qiang Zhang, Jingkun Jiang, and Da-ren Chen. Performance calibration of low-cost and portable particular matter ( PM ) sensors. Journal of Aerosol Science, 112(March) :110, 2017. [55] Berkeley Earth. Air quality real-time map. http://berkeleyearth.org/air-quality-real-time-map/ ?z=2&x=22.00000&y=30.00000&m=h&c=y&f=n&r=h. Consulté le : 27/01/2019. [56] Ryan Marks, Alastair Clarke, Carol Featherston, Christophe Paget, and Rhys Pullin. Lamb wave interaction with adhesively bonded stieners and disbonds using 3d vibrometry. Applied Sciences, 6(1), 2016. [57] Y. Tang, Z. Li, J. Ma, L. Wang, J. Yang, B. Du, Q. Yu, and X. Zu. Highly sensitive surface acoustic wave (SAW) humidity sensors based on sol-gel SiO2 lms : Investigations on the sensing property and mechanism. Sensors and Actuators, B : Chemical, 215 :283291, 2015. [58] Sanju Thomas, Marina Cole, Farah H. Villa-López, and Julian W. Gardner. High frequency surface acoustic wave resonator-based sensor for particulate matter detection. Sensors and Ac- tuators, A : Physical, 244 :138145, 2016. [59] Maria Serena Chiriacò, Silvia Rizzato, Elisabetta Primiceri, Sandro Spagnolo, Anna Grazia Mon- teduro, Francesco Ferrara, and Giuseppe Maruccio. Optimization of SAW and EIS sensors sui- table for environmental particulate monitoring. Microelectronic Engineering, 202(June) :3136, 2018. [60] Jiuling Liu, Wenchang Hao, Minghua Liu, Yong Liang, and Shitang He. A Novel Particulate Matter 2.5 Sensor Based on Surface Acoustic Wave Technology. Applied Sciences, 8(1) :82, 2018. [61] V. Ferrari and R. Lucklum. Overview of Acoustic-Wave Microsensors. In Piezoelectric Transdu- cers and Applications, chapter 2, pages 3962. Springer, 2008. [62] C. Caliendo, S. Sait, and F. Boubenider. Love-mode MEMS devices for sensing applications in liquids. Micromachines, 7(1) :113, 2016. [63] Q. Liu and A. J. Flewitt. On-chip temperature-compensated Love mode surface acoustic wave device for gravimetric sensing. Applied Physics Letters, 105(21), 2014. [64] Lyes Djoumi, Meddy Vanotti, and Virginie Blondeau-Patissier. Real time cascade impactor based on Surface Acoustic Wave delay lines for PM10 and PM2.5 mass concentration measurement. Sensors (Switzerland), 18(1), 2018. [65] Yu Duan, Ye Chang, Ji Liang, Hongxiang Zhang, Xuexin Duan, Hao Zhang, Wei Pang, and Menglun Zhang. Wireless gas sensing based on a passive piezoelectric resonant sensor array through near-eld induction. Applied Physics Letters, 109(26), 2016. 169 [66] W. J. Staszewski, S. Mahzan, and R. Traynor. Health monitoring of aerospace composite struc- tures - Active and passive approach. Composites Science and Technology, 69(11-12) :16781685, 2009. [67] Weipeng Xuan, Xingli He, Jinkai Chen, Wenbo Wang, Xiaozhi Wang, Yang Xu, Zhen Xu, Y. Q. Fu, and J. K. Luo. High sensitivity exible Lamb-wave humidity sensors with a graphene oxide sensing layer. Nanoscale, 7(16) :74307436, 2015. [68] J. Black, A. Elium, R. White, M. Apte, L. Gundel, and R. Cambie. MEMS-Enabled miniaturized particulate matter monitor employing 1.6 GHz aluminum nitride thin-lm bulk acoustic wave resonator (FBAR) and thermophoretic precipitator. Proceedings - IEEE Ultrasonics Symposium, pages 476479, 2007. [69] I. Paprotny, P. Doering, F.and Solomon, R. White, and L. Gundel. Microfabricated air- microuidic sensor for personal monitoring of airborne particulate matter : Design, fabrication, and experimental results. Sensors and Actuators, A : Physical, 201 :506516, 2013. [70] H. S. Wasisto, S. Merzsch, A. Waag, E. Uhde, T. Salthammer, and E. Peiner. Airborne engineered nanoparticle mass sensor based on a silicon resonant cantilever. Sensors and Actuators, B : Chemical, 180 :7789, 2012. [71] B. Park, J. Hong, and S. Lee. Real-time detection of airborne dust particles using paddle-type silicon cantilevers. Journal of Vacuum Science & Technology B : Microelectronics and Nanometer Structures, 27(6) :3120, 2009. [72] Anja Boisen, Søren Dohn, Stephan Sylvest Keller, Silvan Schmid, and Maria Tenje. Cantilever- like micromechanical sensors. Reports on Progress in Physics, 74(3), 2011. [73] A. Hajjam, A. Rahafrooz, J. C. Wilson, and S. Pourkamali. Thermally actuated MEMS resonant sensors for mass measurement of micro/nanoscale aerosol particles. Proceedings of IEEE Sensors, pages 707710, 2009. [74] Ting Yuan Liu, Chiao An Sung, Chien Hao Weng, Chia Chun Chu, Anurag A. Zope, Gayathri Pillai, and Sheng Shian Li. Gated CMOS-MEMS thermal-piezoresistive oscillator-based PM2.5 sensor with enhanced particle collection eciency. Proceedings of the IEEE International Confe- rence on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2018-Janua(January) :7578, 2018. [75] Z. J. Davis, W. Svendsen, and A. Boisen. Design, fabrication and testing of a novel MEMS resonator for mass sensing applications. Microelectronic Engineering, 84(5-8) :16011605, 2007. [76] Silvan Schmid, Maksymilian Kurek, and Anja Boisen. Towards airborne nanoparticle mass spec- trometry with nanomechanical string resonators. Proc. SPIE 8725, Micro- and Nanotechnology Sensors, Systems, and Applications V, 8725(September) :8725258725258, 2013. [77] H. Debéda, R. Lakhmi, C. Lucat, and I. Dufour. Use of the longitudinal mode of screen-printed piezoelectric cantilevers coated with PEUT for toluene detection : Comparison with silicon can- tilevers. Sensors and Actuators, B : Chemical, 187 :198203, 2013. 170 [78] D. Hwang, Y. Chae, K. Hwang, J. Kang, and S. Lee. Fabrication and characterization of PZT (lead zirconate titanate) bridge-shaped resonator for mass sensing application. Journal of Elec- troceramics, 29(3) :225234, 2012. [79] Qing Zhu. Microcantilever Sensors in Biological and Chemical Detections. Sensors & transducers, 125(2) :121, 2011. [80] Blake N. Johnson and Raj Mutharasan. Biosensing using dynamic-mode cantilever sensors : A review. Biosensors and Bioelectronics, 32(1) :118, 2012. [81] Arash Hajjam and Siavash Pourkamali. Fabrication and characterization of MEMS-based reso- nant organic gas sensors. IEEE Sensors Journal, 12(6) :19581964, 2012. [82] Nicolas Ledermann, Paul Muralt, Jacek Baborowski, Martin Forster, and Jean Paul Pellaux. Piezoelectric Pb(Zrx, Ti1-x)O3 thin lm cantilever and bridge acoustic sensors for miniaturized photoacoustic gas detectors. Journal of Micromechanics and Microengineering, 14(12) :1650 1658, 2004. [83] Karen Meloy Goeders, Jonathan S. Colton, and Lawrence A. Bottomley. Microcantilevers : Sensing chemical interactions via mechanical motion. Chemical Reviews, 108(2) :522542, 2008. [84] V. Ferrari, D. Marioli, and A. Taroni. Thick-lm resonant piezo-layers as new gravimetric sensors. Measurement Science & Technology, 8(1) :4248, 1997. [85] Jiuxuan Zhao, Minliang Liu, Wen Wang, and Jin Xie. Airborne particulate matter classication and concentration detection based on 3D printed virtual impactor and quartz crystal microba- lance sensor. Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2016-February :824827, 2016. [86] K. S. Van Dyke. A determination of some of the properties of the piezo-electric quartz resonator. Proceedings of the Institute of Radio Engineers, 23(4) :386392, 1934. [87] W. A. Marrison. The Evolution of the Quartz Crystal Clock. Bell System Technical Journal, 27(3) :510588, 1948. [88] H. S. Wasisto, S. Merzsch, E. Uhde, A. Waag, and E. Peiner. Handheld personal airborne na- noparticle detector based on microelectromechanical silicon resonant cantilever. Microelectronic Engineering, 145 :96103, 2015. [89] E. Mehdizadeh, V. Kumar, S. Pourkamali, J. Gonzales, and R. Abdolvand. A two-stage aerosol impactor with embedded MEMS resonant mass balances for particulate size segregation and mass concentration monitoring. In IEEE SENSORS 2013 - Proceedings, pages 47, 2013. [90] D. Liang, W. Shih, C. Chen, and C. Dai. A Miniature system for separating aerosol particles and measuring mass concentrations. Sensors, 10(4) :36413654, 2010. [91] Maribel Maldonado-Garcia, Varun Kumar, James C. Wilson, and Siavash Pourkamali. Chip- Scale Implementation and Cascade Assembly of Particulate Matter Collectors with Embedded Resonant Mass Balances. IEEE Sensors Journal, 17(6) :16171625, 2017. 171 [92] Brandon P. Harrington, Reza Abdolvand, Arash Hajjam, James C. Wilson, and Siavash. Thin- lm piezoelectric-on-silicon particle mass sensors. 2010 IEEE International Frequency Control Symposium, FCS 2010, pages 238241, 2010. [93] Radoslav Parashkov, Eike Becker, Thomas Riedl, Hans Hermann Johannes, and Wolfgang Ko- walsky. Large area electronics using printing methods. Proceedings of the IEEE, 93(7) :13211329, 2005. [94] Frederik C. Krebs, Mikkel Jørgensen, Kion Norrman, Ole Hagemann, Jan Alstrup, Torben D. Nielsen, Jan Fyenbo, Kaj Larsen, and Jette Kristensen. A complete process for production of exible large area polymer solar cells entirely using screen printing-First public demonstration. Solar Energy Materials and Solar Cells, 93(4) :422441, 2009. [95] Dino A. Pardo, Ghassan E. Jabbour, and Nasser Peyghambarian. Application of Screen Printing in the Fabrication of Organic Light ?Emitting Devices. Advanced Materials, 12(17) :12491252, 2000. [96] Wijitar Dungchai, Orawon Chailapakul, and Charles S. Henry. A low-cost, simple, and rapid fabrication method for paper-based microuidics using wax screen-printing. Analyst, 136 :7782, 2011. [97] Howard D. Goldberg, Richard B. Brown, Dong P. Liu, and Mark E. Meyerho. Screen printing : a technology for the batch fabrication of integrated chemical-sensor arrays. Sensors and Actuators : B. Chemical, 21(3) :171183, 1994. [98] Laura Gonzalez-Macia, Aoife Morrin, Malcolm R. Smyth, and Anthony J. Killard. Advanced printing and deposition methodologies for the fabrication of biosensors and biodevices. Analyst, 135(5) :845867, 2010. [99] Louise M. Bierregaard, Tomasz Zawada, Erling Ringgaard, Ruichao Xu, Michele Guizzetti, Jan P. Bagge, and Lars N. Moesner. Cost-eective screen printed linear arrays for medical imaging fabricated using PZT thick lms. 2015 IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS 2015, pages 14, 2015. [100] H. Debéda, C. Lucat, and V. Pommier-Budinger. Printed Piezoelectric Materials for Vibration- based Damage Detection. Procedia Engineering, 168 :708712, 2016. [101] W Zhu, K Yao, and Z Zhang. Design and fabrication of a novel piezoelectric multilayer actuator by thick-lm screen printing technology. Sensors and Actuators A : Physical, pages 149153, 2000. [102] H. S. Wasisto, S. Merzsch, A. Waag, E. Uhde, T. Salthammer, and E. Peiner. Portable cantilever- based airborne nanoparticle detector. Sensors and Actuators, B : Chemical, 187 :118127, 2013. [103] Nursabirah Jamel, Ahmed Almusallam, Dibin Zhu, Russel Torah, Kai Yang, John Tudor, and Steve Beeby. Screen-printed free-standing piezoelectric devices using low temperature process. In Symposium on Design Test Integration and Packaging of MEMS and MOEMS, 2015. 172 [104] Claude Lucat, Patrick Ginet, Christophe Castille, Hélène Debéda, and Francis Ménil. Micro- systems elements based on free-standing thick-lms made with a new sacricial layer process. Microelectronics Reliability, 48(6) :872875, 2008. [105] N.M. White and N.R. Harris. Fabrication and characterization of free-standing thick-lm piezoe- lectric cantilevers for energy harvesting. Measurement Science and Technology, 20 :19771980, 2009. [106] LJ Golonka, M Buczek, Marko Hrovat, A Dziedzic, H Rouszczak, and Tomasz Zawada. Properties of PZT thick lms made on LTCC. Microelectronics International, 22(2) :1316, 2005. [107] Yoshihiko Imanaka. Multilayered Low Temperature Cored Ceramics (LTCC) Technology. Sprin- ger, New York, 2005. Fujitsu Laboratories, Ltd. Japan. [108] H. Debéda, P. Clément, E. Llobet, and C. Lucat. One-step ring for electroded PZT thick lms applied to MEMS. Smart Materials and Structures, 24(2) :25020, 2015. [109] Heli Jantunen, Tao Hu, Antti Uusimäki, and Seppo Leppävuori. Tape casting of ferroelectric, dielectric, piezoelectric and ferromagnetic materials. Journal of the European Ceramic Society, 24(6) :10771081, 2004. [110] S.P. Beeby. Printed thick-lm mechanical microsystems (MEMS). Woodhead Publishing Limited, 2012. [111] A. J. Medesi, H. Meier, C. Megnin, and T. Hanemann. A novel Co-casting process for piezoelectric multilayer ceramics with silver inner electrodes. Procedia Engineering, 120 :124129, 2015. [112] Maciej Sobocinski, David Bilby, David Kubinski, Jaco Visser, Mike Andersson, and Jari Juuti. SiC MOSFET soot sensor in a co-red LTCC package. Eurosensors, 30 :25, 2016. [113] Marie-Pascale Martin. Réalisation de varistances sérigraphiées à base de ZnO pour des appli- cations en électronique de puissance : inuence des électrodes sur les propriétés électriques du composant de protection. Thèse de doctorat, Université de Bordeaux, 2004. [114] F. Ménil, C. Lucat, and H. Debéda. The thick-lm route to selective gas sensors. Sensors and Actuators : B. Chemical, 25(1-3) :415420, 1995. [115] C. Castille, I. Dufour, M. Maglione, H. Debéda, C. Pellet, and C. Lucat. Sensor Application Using Longitudinal Mode of Screen-Printed PZT Cantilever. Procedia Chemistry, 1(1) :971974, 2009. [116] Pierrick Clement. Functionalized carbon nanotubes for detecting traces of benzene vapors em- ploying screen-printed resistive and resonant transducers. Thèse de doctorat, Université de Bor- deaux, 2015. [117] R. Lakhmi. Etude de micropoutres sérigraphiées pour des applications capteurs. Thèse de docto- rat, Université Sciences et Technologies - Bordeaux I, 2011. [118] Riadh Lakhmi, Claude Lucat, Isabelle Dufour, and Helene Debéda. Unusual behavior of uncoa- ted thick-lm PZT cantilevers towards uid phases sensing. Application to water and ethanol detection. In 2013 Transducers and Eurosensors XXVII : The 17th International Conference 173 on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Tansducers and Eurosensors 2013, pages 11421145, 2013. [119] W. John and G. Reischl. A Cyclone for Size-Selective Sampling of Ambient Air. Journal of the Air Pollution Control Association, 30(8) :872876, 1980. [120] T. Hsiao, D. Chen, and S. Son. Development of mini-cyclones as the size-selective inlet of miniature particle detectors. Journal of Aerosol Science, 40(6) :481491, 2009. [121] Fung Yu Kuo, Ying Chen Lin, Ling Yi Ke, Chuen Jinn Tsai, and Da Jeng Yao. Detection of particulate matter of size 2.5 µm with a surface-acoustic-wave sensor combined with a cyclone separator. Micromachines, 9(8), 2018. [122] V. Marple and C. Chien. Virtual impactors : a theoretical study. Environmental Science & Technology, 14(8) :976985, 1980. [123] University of Florida and Washington University. Aerosol transport inertia. http://aerosol.ees. u.edu/aerosol_trans/section09_c.html. [124] W. C. Hinds. Aerosol technology : properties, behaviour, and measurement of airborne particles. John Wiley and Sons Inc, 1982. [125] K. S. Lim and K. W. Lee. Collection eciency and particle loss of virtual impactors with dierent methods of increasing pressure drop. Journal of Aerosol Science, 37(10) :11881197, 2006. [126] Igor Paprotny, Frederick Doering, and Richard M. White. MEMS Particulate Matter (PM) monitor for cellular deployment. Proceedings of IEEE Sensors, pages 24352440, 2010. [127] Xiaofeng Zhu, Yiting Jia, Jianhai Sun, Peiyue Zhao, Jinhua Liu, Yanni Zhang, and Zhanwu Ning. Conguration of Air Microuidic Chip for Separating and Grading Respirable Dust. Journal of Physics : Conference Series, 986(1), 2018. [128] Y. Kim, J. Maeng, D. Park, I. Jung, J. Hwang, and Y. Kim. Micromachined cascade virtual impactor with a ow rate distributor for wide range airborne particle classication. Applied Physics Letters, 91(4) :14, 2007. [129] A. Schaap, W. Chu, and B. Stoeber. Continuous size-separation of airborne particles in a micro- channel for aerosol monitoring. IEEE Sensors Journal, 11(11) :27902797, 2011. [130] F. Zheng. Thermophoresis of spherical and non-spherical particles : A review of theories and experiments. Advances in Colloid and Interface Science, 97(1-3) :255278, 2002. [131] H. Wasisto, S. Merzsch, A. Waag, E. Uhde, T. Salthammer, and E. Peiner. Evaluation of photoresist-based nanoparticle removal method for recycling silicon cantilever mass sensors. Sen- sors and Actuators, A : Physical, 202 :9099, 2013. [132] H. Wasisto, S. Merzsch, A. Stranz, A. Waag, E. Uhde, T. Salthammer, and E. Peiner. Silicon resonant nanopillar sensors for airborne titanium dioxide engineered nanoparticle mass detection. Sensors and Actuators, B : Chemical, 189 :146156, 2013. [133] Yang Gan and George V. Franks. Cleaning AFM colloidal probes by mechanically scrubbing with supersharp "brushes". Ultramicroscopy, 109(8) :10611065, 2009. 174 [134] F. Peng, T. Luoa, Y. Yuan, and L. Qiu. Performance of optimized TVOCs sensor. Procedia Engineering, 7 :392398, 2010. [135] Min-Geon Kim, Ji-Seob Choi, and Woo-Tae Park. Mems pzt oscillating platform for ne dust particle removal at resonance. International Journal of Precision Engineering and Manufacturing, 19(12) :18511859, Dec 2018. [136] Pierre Atten, Hai Long Pang, and Jean-luc Reboud. Study of Dust Removal by Standing Wave Electric Curtain for Application to Solar Cells on Mars. In Transactions on Industry Applications, volume 45, pages 334340, 2005. [137] C. I. Calle, C. R. Buhler, J. L. McFall, and S. J. Snyder. Particle removal by electrostatic and die- lectrophoretic forces for dust control during lunar exploration missions. Journal of Electrostatics, 67(2-3) :8992, 2009. [138] Hung Wen Lin, Chang Pin Chang, Wen Hwa Hwu, and Ming Der Ger. The rheological behaviors of screen-printing pastes. Journal of Materials Processing Technology, 197(1-3) :284291, 2008. [139] Almudena Rivadeneyra, José Fernández-Salmerón, Manuel Agudo-Acemel, Juan A. López- Villanueva, Luis Fermín Capitan-Vallvey, and Alberto J. Palma. Improved manufacturing process for printed cantilevers by using water removable sacricial substrate. Sensors and Actuators, A : Physical, 235 :171181, 2015. [140] Patrick Ginet. Conception et élaboration de microstructures en technologie hybride couche épaisse pour des applications MEMS. Thèse de doctorat, Université Sciences et Technologies - Bordeaux I, 2013. [141] A Medesi, T Greiner, M Benkler, C Megnin, and T Hanemann. Low Temperature Sintering of PZT. Journal of Physics : Conference Series, 557 :012132, 2014. [142] Kathrin Reinhardt, Nancy Hofmann, and Markus Eberstein. The importance of shear thinning, thixotropic and viscoelastic properties of thick lm pastes to predict eects on printing perfor- mance. EMPC 2017 - 21st European Microelectronics and Packaging Conference and Exhibition, 2018-January(September) :17, 2018. [143] Kui Yao and Weiguang Zhu. Improved preparation procedure and properties for a multilayer piezoelectric thick-lm actuator. Sensors and Actuators, A : Physical, 71(1-2) :139143, 1998. [144] Martin Safar and Tim W Button. Control of PbO loss during sintering of PZT : laboratory vs industry. IEEE International Symposium on the Applications of Ferroelectric (ISAF), 2017. [145] Angus I. Kingon and J. Brian Clark. Sintering of PZT Ceramics : II, Eect of PbO Content on Densication Kinetics. Journal of the American Ceramic Society, 66(4) :256260, 1983. [146] Ajai Garg and D C Agrawal. Eect of net PbO content on mechanical and electromechanical properties of lead zirconate titanate ceramics. Materials Science and Engineering B, 60(1) :4650, 1999. [147] Dibin Zhu, Stephen P. Beeby, Michael J. Tudor, and Nick R. Harris. A credit card sized self powered smart sensor node. Sensors and Actuators, A : Physical, 169(2) :317325, 2011. 175 [148] R. Xu, A. Lei, C. Dahl-Petersen, K. Hansen, M. Guizzetti, K. Birkelund, E. V. Thomsen, and O. Hansen. Screen printed PZT/PZT thick lm bimorph MEMS cantilever device for vibration energy harvesting. Sensors and Actuators, A : Physical, 188 :383388, 2012. [149] Ferroperm Piezoceramics, Porthusvej 4, DK-3490 Kvistgård, Denmark. Pz26 ( Navy I ) Hard relaxor type PZT Pz26 ( Navy I ) Hard relaxor type PZT Material properties, 2017. [150] Ferroperm Piezoceramics, Hejreskovvej 18A, DK-3490 Kvistgård. High Quality Components and Materials for The Electronic Industry, May 2003. [151] Fausto Kenzo Chinen and Izabel Fernanda Machado. PZT consolidation by Spark Plasma Sin- tering ( SPS ). In 21st International Congress of Mechanical Engineering, volume 1050, 2011. [152] Danjela Kuscer, Franck Levassort, Marc Lethiecq, Andre Pierre Abellard, and Marija Kosec. Lead-zirconate-titanate thick lms by electrophoretic deposition for high-frequency ultrasound transducers. Journal of the American Ceramic Society, 95(3) :892900, 2012. [153] Properties of PZT thick lm made on LTCC substrates with dielectric intermediate layers, volume 10161, 2016. [154] Darko Belavi£, Marko Hrovat, Marina Santo Zarnik, Janez Holc, and Marija Kosec. An investi- gation of thick PZT lms for sensor applications : A case study with dierent electrode materials. Journal of Electroceramics, 23(1) :15, 2009. [155] Jacek Baborowski. Microfabrication of piezoelectric MEMS. Integrated Ferroelectrics, 66 :317, 2004. [156] R. A. Dorey and R. W. Whatmore. Electroceramic thick lm fabrication for MEMS. Journal of Electroceramics, 12(1-2) :1932, 2004. [157] F. Dauchy and R. A. Dorey. Patterned crack-free PZT thick lms for micro-electromechanical system applications. International Journal of Advanced Manufacturing Technology, 33(1-2) :86 94, 2007. [158] G Shirane, K Suzuki, and A Takeda. Phase Transitions in Solid Solutions of PbZrO3 and PbTiO3 (II) X-ray Study. Journal of the Physical Society of Japan, 77(1) :17, 1951. [159] C. Nix and D. MacNair. The Thermal Expansion of Pure Metals : Copper, Gold, Aluminum, Nickel, and Iron. Physical Review, 60(1926), 1941. [160] Abdel-Baset M. A. Ibrahim, Rajan Murgan, Mohd Kamil Abd Rahman, and Junaidah Osman. Morphotropic phase boundary in ferroelectric materials. In Mickaël Lallart, editor, Ferroelectrics, chapter 1. IntechOpen, Rijeka, 2011. [161] Christophe Castille. Etude de MEMS piézoélectriques libérés et microstructurés par sérigraphie. Application à la détection en milieu gazeux et en milieu liquide. Thèse de doctorat, Université de Bordeaux 1, 2008. [162] Stephen Heinrich and Isabelle Dufour. Fundamental theory of resonant MEMS devices. In Advanced Micro and Nanosystems : Volume 11 : Resonant MEMS, volume 11 of Advanced Micro and Nanosystems, pages 328. Wiley-VCH, 2015. 176 [163] Kevin Y. Yasumura, Timothy D. Stowe, Eugene M. Chow, Timothy Pfafman, Thomas W. Kenny, Barry C. Stipe, and Daniel Rugar. Quality factors in micron- and submicron-thick cantilevers. Journal of Microelectromechanical Systems, 9(1) :117125, 2000. [164] Jian Lu, Tsuyoshi Ikehara, Yi Zhang, Takashi Mihara, and Ryutaro Maeda. Mechanical quality factor of microcantilevers for mass sensing applications. In Device and Process Technologies for Microelectronics, MEMS, Photonics, and Nanotechnology IV, volume 6800, page 68001Y, 2007. [165] Janna Rodriguez, Dustin D Gerrard, Grant M Glaze, Saurabh Chandorkar, Yunhan Chen, Ian B Flader, Dongsuk D Shin, and Thomas W Kenny. Unanticipated Results in the First Direct Measurements of Anchor Damping in Mems Resonators. In MEMS 2018, Belfast, Northern Ireland, pages 543546, 2018. [166] J. Mouro, L. Teagno, A. Gualdino, V. Chu, and J. P. Conde. Electrical characterization of thin- lm silicon exural resonators in linear and nonlinear regimes of motion for integration with electronics. Sensors & Actuators : A. Physical, 247 :482493, 2016. [167] J. J. Yao and N. C. MacDonald. A micromachined, single-crystal silicon, tunable resonator. Journal of Micromechanics and Microengineering, 5(3) :257264, 1995. [168] Stefano Lenci and Giuseppe Rega. Forced Harmonic Vibration in a Dung Oscillator with Negative Linear Stiness and Linear Viscous Damping. Wiley, 2011. [169] Farid Tajaddodianfar, Mohammad Reza Hairi Yazdi, and Hossein Nejat Pishkenari. Nonlinear dynamics of MEMS/NEMS resonators : analytical solution by the homotopy analysis method. Microsystem Technologies, 23(6) :19131926, 2017. [170] David R Lide ; William M Haynes. Handbook of chemistry and physics. In Boca Raton, editor, Handbook of Chemistry and Physics, page 2804. London ; New York : CRC Press, cop., 2009. [171] A. Cagliani, V. Pini, J. Tamayo, M. Calleja, and Z. J. Davis. Ultrasensitive thermometer for atmospheric pressure operation based on a micromechanical resonator. Sensors and Actuators, B : Chemical, 202 :339345, 2014. [172] W. Xuan, M. He, N. Meng, X. He, W. Wang, J. Chen, T. Shi, T. Hasan, Z. Xu, Y. Xu, and J. K. Luo. Fast Response and High Sensitivity ZnO/glass Surface Acoustic Wave Humidity Sensors Using Graphene Oxide Sensing Layer. Scientic Reports, 4 :7206, 2014. [173] Roozbeh Tabrizan and Farrokh Ayazi. Compensation , Tuning , and Trimming of MEMS Re- sonators. In Olivier Brand, Isabelle Dufour, Stephen M. Heinrich Heinrich, and Fabien Josse, editors, Resonant MEMSFundamentals, Implementation and Application, chapter 13. Wiley- VCH Verlag GmbH & Co. KGaA., 2015. [174] Z. Q. Zhuang, Sei Joo Jang, Leslie E. Cross, and Michael J. Haun. Composition and Temperature Dependence of the Dielectric, Piezoelectric and Elastic Properties of Pure PZT Ceramics. IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, 36(4) :413416, 1989. [175] Johann Mertens, Eric Finot, Thomas Thundat, Arnaud Fabre, Marie Hélène Nadal, Vincent Eyraud, and Eric Bourillot. Eects of temperature and pressure on microcantilever resonance response. Ultramicroscopy, 97(1-4) :119126, 2003. 177 [176] Eric Finot, Ali Passian, and Thomas Thundat. Measurement of mechanical properties of canti- lever shaped materials. Sensors, 8(5) :34973541, 2008. [177] Jonas Herter, Valentin Wunderlich, Christian Janeczka, and Vanessa Zamora. Experimental Demonstration of Temperature Sensing with Packaged Glass Bottle Microresonators. Sensors, 18(12) :4321, 2018. [178] Saito Yasuyoshi, Takao Hisaaki, Tani Toshihiko, Nonoyama Tatsuhiko, Takatori Kazumasa, Homma Takahiko, Nagaya Toshiatsu, and Nakamura Masaya. Lead-free piezoceramics. Nature, 432(November) :8487, 2004. [179] Chang Hyo Hong, Hwang Pill Kim, Byung Yul Choi, Hyoung Su Han, Jae Sung Son, Chang Won Ahn, and Wook Jo. Lead-free piezoceramics Where to move on ? Journal of Materiomics, 2(1) :124, 2016. [180] Mao-hua Zhang, Ke Wang, Yi-jia Du, Gang Dai, Wei Sun, Geng Li, Duan Hu, Hao Cheng Thong, Chunlin Zhao, Xiao-qing Xi, Zhen-xing Yue, and Jing-feng Li. High and Temperature-Insensitive Piezoelectric Strain in Alkali Niobate Lead-free Perovskite. Journal of the American Chemical Society, 2017. [181] Agilent Technologies. Agilent E5061B Network Analyzer. Technical report, Agilent Technologies, 2010. 178 179 Résumé Français Les particules nes ont un impact réel sur la qualité de vie et la santé de millions de personnes dans les grandes zones urbaines, notamment en Asie. Pour les détecter et quantier leur concentration, les capteurs de particules optiques sont les plus couramment étudiés, mais restent relativement chers et volumineux. Les transducteurs MEMS micropoutres sont largement utilisés pour des applications gravimétriques, pour la détection de particules ou de gaz, ce qui requiert des sensibilités massiques (Sm) élevées et des limites de détection (LOD) basses. Pour cela les micropoutres les plus adaptées sont celles ayant des fréquences de résonance (f0) et facteurs de qualité (Q) élevés, avec de faibles bruits de mesure et des masses faibles. Les micropoutres silicium sont couramment utilisées en tant que capteurs gravimétriques et sont de sérieux candidats pour répondre aux caractéristiques souhaitées. Cependant, la sérigraphie a le potentiel pour une fabrication moins chère, plus rapide et aussi à grande échelle. Pour ces micropoutres, l'actionnement et la lecture de f0 sont possibles par eet piézoélectrique. Bien qu'il existe des solutions inorganiques prometteuses sans plomb, les céramiques de titano-zirconate de plomb (PZT) possèdent encore les meilleures propriétés parmi les matériaux piézoélectriques. Des micropoutres fabriquées en technologie hybride couches épaisses sérigraphiées, à actionnement et lecture piézoélectriques intégrés, libérées à l'aide d'une couche sacricielle polyester et avec co-cuisson de toutes les couches pour leurs libération sont présentées ici. Diérentes géométries ont été testées de 1 mm à 2 mm de large et de 1 mm à 8 mm de long, pour une épaisseur d'environ 100 μm. Une masse volumique ρP ZT = 7200 kg/m3 a été obtenue 93%ρP ZT massif). Enn, (≈ avec une micropoutre 1×2×0,1 mm3, une sensibilité Sm 85 Hz/μm et une LOD de 70 ng ont été trouvées, permettant ≈ des applications en détection de particules. English summary Fine particulate matters (PM) have a real impact on the quality of life and health of millions of people in large urban areas, especially in Asia. In order to detect them and quantify their concentration, optical PM sensors are the most widely studied, but remain relatively expensive and bulky. MEMS microcantilever transducers are widely used for gra- vimetric applications, for PM or gas detection, which requires high mass sensitivities (Sm) and low limits of detection (LOD). A solution is to focus on microcantilevers with high resonance frequencies (f0) and quality factors (Q), low measurement noise and low masses. Silicon microcantilevers are commonly used as gravimetric sensors and are serious candidates to meet the desired characteristics. However, screen printing has the potential for cheaper, faster and large scale manufacturing. Such microcantilevers can be actuated and f0 read-out using the piezoelectric eect. Although pro- mising lead-free inorganic solutions exist, titanium lead zirconate (PZT) ceramics still have the best properties among piezoelectric materials. Screen-printed microcantilevers manufactured in hybrid thick-lm technology, with integrated piezoelectric actuation and read-out, released using a polyester sacricial layer and with co-ring of all the layers are presented here. Dierent geometries were tested from 1 mm to 2 mm wide and from 1 mm to 8 mm long, for a thickness of about 100 μm. A density ρP ZT = 7200 kg/m3 93%ρP ZT bulk) was obtained. With a (≈ 1×2×0.1 mm3 microcantilever, a sensitivity Sm 85 Hz/μm and a LOD of 70 ng were found, compatible with applications in PM mass detection. ≈